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产品详情
  • 产品名称:英福康石英晶体监测仪

  • 产品型号:SQM160
  • 产品厂商:INFICON
  • 产品文档:
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简单介绍:
SQM160使用成熟的 INFICON 石英晶体传感器技术在薄膜沉积过程中测量速率和厚度。两个传感器输入为标准输入,另外四个传感器输入为可选输入。两个记录器输出提供模拟速度和厚度信号。
详情介绍:



SQM160是利用INFICON石英晶体传感技术在镀膜过程中测量沉积速率和膜厚的精密仪器,标准型有两路传感器输入,同时,4路传感器输入可选,具体视用户实际应用而定;双输出可以向操作者提供直观的模拟沉积速率及膜厚信号。在大型系统中,传感器输入可以分配给不同材料,采集的数据通过平均值,以达到更**的沉积控制;也可以设定为双探头模式。在高沉积速率过程中,为了延长传感器的使用寿命,速率采集模式允许探头带一个档板。用户可以自己选择0.1/s 还是0.01/s的速率显示模式.另外,还可以选择频率或质量显示模式。SQM160的四路继电输出可以用来控制沉积源、探头档板、信号时间、膜厚设定值以及晶片失效信号等。
数字输入可以通过外部信号来对读数进行开始/停止和清零操作。SQM160石英晶体监测仪采用了RS-232接口和Windows®窗口软件,可以通过电脑上进行调试安装。软件可以用来设置和存储所有参数,包括仪器操作和保留程序数据到特定的Excel®文档。同时,USB或以太网选项也添加通信协议中,以*大程度方便不同用户。

便于使用


开启速率和膜厚测量,只需先按住Zero键以**上次读数,然后关闭,打开源和传感器档板。宽大明亮的LED显示器可以同时显示膜层厚度和沉积速率,即使操作人员离监测仪一定距离也仍然清晰可见。当达到预设膜厚或者镀膜时间到了,档板就会自动关闭,同时前面板报警器开始亮灯。在镀膜过程中,操作员可以在任意时间通过Xtal Life键来查看晶片的剩余使用寿命。双菜单可以对监测仪的99个存储膜系进行设置。首先,选“program”键,进入菜单,然后,旋转拨针钮,这样就可以选择或者编辑参数了。主显示界面显示菜单提示,而设定的数据可以在辅助界面中找到。
高精度,低成本


标准型的频率分辨率是0.12HZ@ 4个读数/秒,如果用户有更严格的需求可以选择分辨率为0.03HZ@ 10个读数/秒的高精型。SQM160另一大优点是在整个工作范围内,温度稳定性可以达到2ppm。高精度和高稳定性的联袂使得该款仪器具备了卓越的性价比。
产品特点:


■ 双通道(标准型),四通道可选
■ 沉积速率/膜层厚度模拟输出
■ 高精度: 0.03Hz at 10个读数/s
■ RS-232 接口, USB 或以太网可选 

产品规格


QCM传感器输入                  标准型: 2;路       可选: 4路 
频率范围                             1-10 MHz 
频率分辨率                          标准型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec
                                          可选: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec 
频率稳定性                          在 0 to 50C,总计± 2 ppm 
可选择的测量周期                0.10 to 2 sec (每级增量0.05 sec) 
测量选择                             1 to 20 readings 
存储膜系                              99 
模拟输出                             2路0 to 10 VDC输出, 沉积速率 & 膜厚 
数字输入/输出                      2 路数字输入, 4路继电输出 
数字接口                             标准型: RS-232 
                                          可选: USB or 以太网 
电源                                    0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W 
CE 标识                              Class 1 equipment 73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD 
安装支架                             1/2-rack cabinet, 3-1/2" high, 
                                           89 x 213 x 197mm (3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")
重量                                    2.7 Kg (6 lbs) 
Windows软件(included) 提供远程安装和操作指导,数据录入功能
定货信息
附件
782-900-008             单台SQM-160 19"安装支架
782-900-014             双台SQM-160 19"安装支架
782-502-062             4传感器输入扩展卡 (将标准型2路扩展到6路) 
782-900-042             高分辨率选件(此项需在工厂中完成安装)
782-900-040             USB选择卡 
782-900-041             以太网选择卡 

杭公网安备 33010502004916号

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